特許
J-GLOBAL ID：200903068075989694

ミラー偏向装置とその駆動方法、光交換装置

発明者：
大高 剛一

大高 剛一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 鈴木 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-379653
公開番号（公開出願番号）：特開2003-177338
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：
【要約】【課題】 偏向範囲を広く設定できるとともに低電圧で駆動できるミラー偏向装置を提供する。【解決手段】 ミラー基板101の裏面に設けた凹部102に、基板107側の凸部112の先端を嵌合し、凸部112の先端を支点としてミラー基板101を変位可能に支持する。基板107の窪み部位に、ミラー基板101に対向した複数の駆動電極が設けられる。ミラー基板101の端と基板107に結合された折りたたみ構造の保持部103により、非駆動時にはミラー基板101はニュートラル位置に保持される。
請求項（抜粋）：
ミラー面が形成されたミラー基板と、前記ミラー基板の前記ミラー面と反対側の面と空隙を介して対向する面を有し、該対向する面には、前記ミラー基板をその先端を支点として変位可能に支持するための凸部を有するとともに、前記ミラー基板に前記凸部の先端を支点として変位させる静電引力を作用させるための、複数の独立した駆動電極が前記凸部の周囲に分散して設けられた基板部材と、前記ミラー基板を前記基板部材に対して所定の姿勢に保持するための、前記ミラー基板及び前記基板部材に結合された変形可能な複数の保持部材とからなることを特徴とするミラー偏向装置。
IPC (2件)：
G02B 26/08 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
G02B 26/08 E ,  B81B 3/00
Fターム (7件)：
2H041AA15 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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