コンタクト構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094606
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268335
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】層間絶縁膜の膜厚がばらついても、基板ごとの基板間隔のばらつきをなくし、かつ導電スペーサが原因となる接触不良の発生を減少する【解決手段】第1の基板101には、第1の導電膜103と、絶縁膜104と、絶縁膜104に形成された開口部111と、残存された絶縁膜104aと開口部111とを覆う第2の導電膜105を有する。絶縁膜104a上において、導電性スペーサ107により、第1の基板上の第2の導電膜105と第2の基板102上の第3の導電膜106とが電気的に接続される共に、基板間隔Gが保持される。基板間隔Gは導電性スペーサ107の大きさのみに依存することになる。従って、導電性スペーサ107の大きさが同じであれば、絶縁膜104の厚さtが基板ごとに異なっても、基板間隔Gを基板ごとに同じにすることができる。

請求項（抜粋）：

対向する第1基板と第2の基板上にそれぞれ形成された導電膜を接続するためのコンタクト構造であって、前記第1の基板上に形成された第1の導電膜と、前記第1の導電膜を覆う絶縁膜と、前記絶縁膜を選択的に残存して開口され、前記第1の導電膜を露出する開口部と、残存された前記絶縁膜と前記開口部とを覆う第2の導電膜と、前記第2の基板上に形成された第3の導電膜と、前記第1の基板と前記第2の基板間に挟持され、前記第1の基板と前記第2の基板との間隔を保持するための導電性スペーサと、を有し、前記開口部において、前記第1の導電膜と前記第2の導電膜とが接続され、残存された前記絶縁膜上において、前記第2の導電膜、前記導電性スペーサ、前記第3の導電膜が順次に接続されており、かつ前記第2の導電膜と前記第3の導電膜とを接続している前記導電性スペーサにより、前記第1の基板と前記第2との間隔が保持されていることを特徴とするコンタクト構造。

IPC (5件)：

G02F 1/1345 , G02F 1/1339 500 , G09F 9/30 321 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (4件)：

G02F 1/1345 , G02F 1/1339 500 , G09F 9/30 321 , H01L 29/78 612 Z

引用特許：

出願人引用 (8件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-297347 出願人：セイコーエプソン株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-337490 出願人：セイコーエプソン株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-079869 出願人：セイコーエプソン株式会社

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審査官引用 (8件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-297347 出願人：セイコーエプソン株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-337490 出願人：セイコーエプソン株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-079869 出願人：セイコーエプソン株式会社

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