特許

J-GLOBAL ID：200903068110649109

UV照射装置付ダイシング装置

発明者： 足立 禎 ,  東 正幸 ,  金子 貴幸
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103518
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299286
出願日： 2001年04月02日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ダイシング装置内でUVテープに紫外線を照射するにあたり、稼働率を低下させることのないダイシング装置を提供する。【解決手段】UV照射装置40を、ワーク搬送経路とは別の、カセット載置部50のカセットCの下部に設けた。 これにより、UV照射中に次のワークを搬送することができ、ダイシング装置の稼働率を低下させない。

請求項（抜粋）：

UVテープを介してフレームと一体的に貼着されたワークを切断するダイシング装置において、該ワークを切断するワーク切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを載置するカセット載置部と、前記UVテープに紫外線を照射するUV照射装置と、前記カセット載置部と前記ワーク切断部及び前記UV照射装置との間でワークを搬送するワーク搬送手段とを有し、前記UV照射装置を前記カセット載置部に設けたことを特徴とするダイシング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B24B 27/06

FI (4件)：

B24B 27/06 M ,  H01L 21/78 P ,  H01L 21/78 F ,  H01L 21/78 Q

Fターム (8件)：

3C058AA03 ,  3C058AA19 ,  3C058AB03 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058BC03 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-133575   出願人：株式会社東京精密
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-007929   出願人：株式会社東京精密