特許
J-GLOBAL ID：200903063377584659

ダイシング装置

発明者：
石川 俊彦

石川 俊彦 について

, 
長田 正照

長田 正照 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-007929
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204462
出願日： 1998年01月19日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】切断刃のドレッシングを簡単に行うことができるダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明は、通常のカセットが収納されるカセット収納部34、36の他に、ドレスカセット80が収納されるドレスカセット収納部32を設けている。切断刃のドレッシングを行う際には、ドレスカセット80に収納されたドレスウェーハWを搬送装置50によって切断部10に搬送する。したがって、切断刃のドレッシングを容易に行うことができる。
請求項（抜粋）：
ワークを切断する切断刃を備えたワーク切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納するワーク収納部と、該ワーク収納部と前記ワーク切断部との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダイシング装置において、前記ダイシング装置本体には、前記切断刃をドレッシングするためのドレスワークを収納するドレスワーク収納部が設けられ、該ドレスワーク収納部と前記ワーク切断部との間で前記ドレスワークを搬送可能としたことを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L 21/78 F ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/78 N
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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