磁気記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-197506
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020263
出願日： 1992年07月02日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】耐熱酸化性炭素質膜を保護膜として有するCSS特性に優れた耐久性良好な磁気記録媒体とその製造方法を提供する。【構成】バイアススパッターリング法によって、磁性層上に炭素質保護膜を形成する。この炭素質保護膜は、従来の炭素保護膜と比較し、酸化されにくく炭素の減少量が少なく、大気中290 °Cで30分加熱後の炭素の減少量が10%以下であるか、320 °Cで30分加熱後の炭素の減少量が30%以下とすくないので、ヘッドの摺動に起因する摩擦により保護膜の温度が約300 °C程度以上の温度に上昇しても酸化損傷しにくい。これにより、CSS特性に優れ、耐久性のよい磁気記録媒体が得られる。さらに、バイアススパッタリング法によって得られるSi、Ge、Fe、W 、Ptを含有させた炭素質保護膜も耐熱酸化性に優れ、同様に優れたCSS特性と耐久性を有する磁気記録媒体が得られる。

請求項（抜粋）：

非磁性基板上に、少なくとも磁性層、保護層が形成されてなる磁気記録媒体において、前記保護層が炭素を主成分とした膜であって、大気雰囲気中で 290°Cの温度で30分間加熱した後の炭素の減少量が10%以下であるか、または320 °Cの温度で30分間加熱した後の炭素の減少量が30%以下である耐熱酸化性炭素質膜からなることを特徴とする磁気記録媒体。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-298923
特開昭64-057480
特開昭63-217519

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