特許

J-GLOBAL ID：200903068117254363

回転保持装置及び方法

発明者： 布 谷 伸 仁 ,  西 垣 寿 ,  社 浦 肇
出願人/特許権者： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265332
公開番号（公開出願番号）：特開平9-107022
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 水平度を良好に維持しながら被処理物を浮上させて回転させることが可能であり、また、回転中の被処理物の水平方向の変位を規制することができる被処理物の回転保持装置を提供する。【解決手段】 被処理物Wを保持するチャック面103が端部に形成された回転可能な回転体102を備えている。チャック面103の外周縁104近傍にガス滞留溝105を周設する。このガス滞留溝105の内周縁107よりも内側のチャック面103にガス滞留溝105と同心にガス噴出口108を周設する。回転体102の内部にガス噴出口108と連通しチャック面103に対して傾斜した分岐通路110を有するガス供給通路109を形成する。

請求項（抜粋）：

被処理物を保持するチャック面が端部に形成された回転可能な回転体を備え、前記チャック面の外周縁近傍にガス滞留溝を周設し、このガス滞留溝の内周縁よりも内側の前記チャック面に前記ガス滞留溝と同心にガス噴出口を周設し、前記回転体の内部に前記ガス噴出口と連通し前記チャック面に対して傾斜した分岐通路を有するガス供給通路を形成したことを特徴とする被処理物の回転保持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/304 351 S ,  H01L 21/306 J

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ディスク状の物体用の支持体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-013496   出願人：エスイーゼットセミコンダクター-イクイプメントツベヘーアフュアジハルブライターフェルティグングゲゼルシャフトエム・ベー・ハー・
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-213733   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平2-253637
  
• 特公昭62-040853
  

審査官引用 (4件)

• ディスク状の物体用の支持体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-013496   出願人：エスイーゼットセミコンダクター-イクイプメントツベヘーアフュアジハルブライターフェルティグングゲゼルシャフトエム・ベー・ハー・
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-213733   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平2-253637
  
• 特公昭62-040853