フラットパネル用基板の貼り合わせ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細井貞行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-108174
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302913
出願日： 2002年04月10日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】構造を簡素化しながら両基板を均一な加圧分布で所定のギャップまで押し潰す。【解決手段】支持基材3bの表面の凹溝部3b1内に電極部3a2を嵌入して、これら支持基材3bの表面と電極部3a2の表面を平滑化させることにより、それに積層した誘電体膜3a1上の基板接触面3a′も段差状の凹凸が発生せず平滑化される。

請求項（抜粋）：

上下一対の加圧板(1,2)に対し、二枚の基板(A,B)の両方又はどちらか一方を静電吸着手段(3)で着脱自在に保持し、これら加圧板(1,2)の接近移動により両基板(A,B)を加圧して所定のギャップまで潰すフラットパネル用基板の貼り合わせ装置において、前記静電吸着手段(3)が、基板(A,B)と接触する誘電体膜(3a1)に電界を供給する薄膜状の電極部(3a2)が積層された静電吸着機能部(3a)と、その土台となる支持基材(3b)とを貼り合わせた積層構造体であり、この支持基材(3b)の表面に形成された凹溝部(3b1)内に電極部(3a2)を嵌入して、これら支持基材(3b)の表面と電極部(3a2)の表面を平滑化させたことを特徴とするフラットパネル用基板の貼り合わせ装置。

IPC (6件)：

G09F 9/00 338 , B65H 5/00 , B65H 37/04 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1339 505

FI (6件)：

G09F 9/00 338 , B65H 5/00 C , B65H 37/04 A , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1339 505

Fターム (26件)：

2H088FA01 , 2H088FA10 , 2H088FA16 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H089NA38 , 2H089NA60 , 2H089QA12 , 2H090JC02 , 2H090JC12 , 3F101LA15 , 3F101LB12 , 3F108GA09 , 3F108GB01 , 3F108HA02 , 3F108HA12 , 5G435AA17 , 5G435BB06 , 5G435BB12 , 5G435HH16 , 5G435HH18 , 5G435KK05 , 5G435KK10 , 5G435LL06 , 5G435LL07 , 5G435LL08

引用特許：

審査官引用 (5件)

液晶表示パネル製造装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-276736 出願人：松下電器産業株式会社
液晶表示装置の製造装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-219815 出願人：日本電気株式会社
静電チャック
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-529650 出願人：サフィコンインコーポレイテッド

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