真空ポンプ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-352256
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148389
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】腐食による回転体破壊を防止でき、かつ、長期間に亘り回転体のバランス取りを行なうことができる真空ポンプを提供する。【解決手段】上面にガス吸気口を開口したポンプケース1と、ポンプケース1内に回転可能に支持されたロータ軸5と、ポンプケース1内に収容され、ロータ軸5に固定されたロータ8の外周面に一体加工された複数枚のロータ翼10,10,...と、複数枚のロータ翼10,10,...間に交互に位置決めされ、ポンプケース1内に固定された複数枚のステータ翼11,11,...と、ロータ軸5を回転させるための駆動モータ9と、を具備し、ロータ8の内周面8bおよび外周面8aに無電解メッキによる腐食防止皮膜を形成し、かつ、ロータ8の内周面8bに質量付加手段15として、耐熱性および耐腐食性の接着剤15aを塗布する。

請求項（抜粋）：

上面にガス吸気口を開口したポンプケースと、上記ポンプケース内に回転可能に支持されたロータ軸と、上記ポンプケース内に収容され、上記ロータ軸に固定されたロータの外周面に一体加工された複数枚のロータ翼と、上記複数枚のロータ翼間に交互に位置決めされ、上記ポンプケース内に固定された複数枚のステータ翼と、上記ロータ軸を回転させるための駆動モータと、を具備し、上記ロータの内周面および外周面には無電解メッキによる腐食防止皮膜が形成され、かつ、上記ロータの内周面に耐熱性および耐腐食性の接着剤または塗料を塗布した質量付加手段と、を具備することを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 , F04D 29/00 , F04D 29/02

FI (5件)：

F04D 19/04 H , F04D 19/04 D , F04D 19/04 E , F04D 29/00 Z , F04D 29/02

Fターム (19件)：

3H022AA01 , 3H022BA04 , 3H022BA07 , 3H022CA48 , 3H022CA51 , 3H022CA53 , 3H022CA54 , 3H022CA55 , 3H022CA56 , 3H022DA00 , 3H022DA13 , 3H022DA15 , 3H031DA01 , 3H031DA02 , 3H031DA07 , 3H031EA07 , 3H031EA09 , 3H031FA01 , 3H031FA34

引用特許：

審査官引用 (2件)

真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-130474 出願人：株式会社日立製作所
回転体のバランス調整法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-184109 出願人：株式会社三協精機製作所

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