特許

J-GLOBAL ID：200903068201924110

熱処理用ボート及び縦型熱処理装置

発明者： 入江 伸次 ,  酒井 裕史
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397884
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197553
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 高温の熱処理における被処理体のスリップの発生を抑制する。【解決手段】 高さ方向に所定の間隔で形成された爪部11を有する複数の支柱12に、被処理体wを搭載する支持板13を前記爪部11を介して多段に取付けてなる熱処理用ボート9において、前記支持板13の被処理体搭載面23に溝24及び貫通孔25を設けている。前記支持板13には左右の支柱12の爪部11に係止されて支持板13の滑落を防止するための係止部27が設けられていることが好ましい。

請求項（抜粋）：

高さ方向に所定の間隔で形成された爪部を有する複数の支柱に、被処理体を搭載する支持板を前記爪部を介して多段に取付けてなる熱処理用ボートにおいて、前記支持板の被処理体搭載面に溝及び貫通孔を設けてなることを特徴とする熱処理用ボート。

IPC (5件)：

H01L 21/22 511 ,  C23C 16/458 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/22 511 G ,  C23C 16/458 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N

Fターム (18件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  4K030KA04 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  5F031CA02 ,  5F031HA62 ,  5F031HA63 ,  5F031HA65 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ウェハ支持体及び縦型ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-071612   出願人：住友金属工業株式会社
• ウェーハ支持板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-082505   出願人：住友金属工業株式会社