特許
J-GLOBAL ID:200903068250635124

耐摩耗性部材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-195209
公開番号(公開出願番号):特開平9-041145
出願日: 1995年07月31日
公開日(公表日): 1997年02月10日
要約:
【要約】【課題】従来の硬質炭素膜被覆耐摩耗性部材では、硬質炭素膜の基体との密着強度が低く、また耐欠損性に劣るものであった。【解決手段】基体としてチタンあるいはチタンを主とするチタン合金を用い、その基体の表面に少なくともダイヤモンドと金属炭化物を含有する中間層を介して硬質炭素膜を被覆するとともに、硬質炭素膜の表面粗さ(Rmax)を2μm以下とすることにより耐摩耗性部材として、優れた密着性と耐摩耗性が達成されることを見いだしたものである。また、中間層中の金属炭化物として炭化珪素を含み、さらには硬質炭素膜のラマン分光スペクトル分析において1160±40cm-1にピークが存在することを特徴とする。
請求項(抜粋):
チタンあるいはチタンを主とするチタン合金からなる基体の表面に少なくともダイヤモンドと金属炭化物を含有する中間層を介して硬質炭素膜を被覆してなり、且つ前記硬質炭素膜の表面粗さ(Rmax)が2μm以下であることを特徴とする耐摩耗性部材。
IPC (3件):
C23C 16/30 ,  C30B 29/04 ,  B23B 27/14
FI (4件):
C23C 16/30 ,  C30B 29/04 Q ,  C30B 29/04 P ,  B23B 27/14 A
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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