特許

J-GLOBAL ID：200903068281654593

基板搬送ロボット

発明者： 中野 清憲 ,  加藤 克彦
出願人/特許権者： 株式会社アイテック
代理人 (2件)： 飯田 昭夫 ,  江間 路子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-213592
公開番号（公開出願番号）：特開2008-036762
出願日： 2006年08月04日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。【解決手段】先端アーム3の先端部37が水平面上を直線移動(Y軸移動)し得る連動式アームユニット300と、第2電動モータ36を駆動源とする駆動力を受け回転中心51aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム51と、第3電動モータ、第4電動モータ56、57を駆動源とし基部69、73を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド68、72とを備える。先端アーム3の先端部37の水平直線(Y軸)上の位置、単独回転式アーム51の水平回転位置、及び単独回転式ハンド68、72の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド68、72を、先端アーム3の先端部37の直線移動方向(Y軸移動方向)に対して直交する水平方向(X軸方向)へ前進及び後退させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1電動モータを駆動源とする駆動力を受け当該基アームの基部を回転中心に回転し得る基アームと、前記基アームの先端部に延設され、該基アームの回転に連動して当該中間アームの基部を回転中心に回転し得る中間アームと、該中間アームの先端部に延設され、該中間アームの回転に連動して当該先端アームの基部を回転中心に回転し得る先端アームとからなり、前記先端アームの先端部が水平面上を直線移動し得る連動式アームユニットと、 前記先端アームの先端部に延設され、該先端アームに内蔵された第2電動モータを駆動源とする駆動力を受け当該単独回転式アームの基部を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アームと、 前記単独回転式アームの先端部に延設され、該単独回転式アームに内蔵された第3電動モータを駆動源とする駆動力を受け当該単独回転式ハンドの基部を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンドと、 を備え、 前記先端アームの先端部の水平直線上の位置、前記単独回転式アームの水平回転位置、及び前記単独回転式ハンドの水平回転位置をそれぞれ制御し、前記単独回転式ハンドを、前記先端アームの先端部の直線移動方向に対して所定角度をもって水平方向へ前進及び後退させる ことを特徴とする基板搬送ロボット。

IPC (3件)：

B25J 17/02 ,  B25J 9/06 ,  H01L 21/677

FI (3件)：

B25J17/02 A ,  B25J9/06 D ,  H01L21/68 A

Fターム (23件)：

3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007AS25 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007BT03 ,  3C007BT11 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT16 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 搬送システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-162952   出願人：株式会社メックス