多数のワークピースを超臨界処理する方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-535218
公開番号（公開出願番号）：特表2003-513466
出願日： 2000年11月01日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：

【要約】多数のワークピースの超臨界処理装置は、移送モジュールと、第一及び第二の超臨界処理モジュールと、ロボットとを備えている。移送モジュールは入口を有する。第一及び第二の超臨界処理モジュールは移送モジュールに連結されている。ロボットは移送モジュール内に好ましくは配置されている。操作時において、ロボットは第一ワークピースを移送モジュールの入口から第一超臨界処理モジュールへ移送する。ロボットは、第二ワークピースを入口から第二超臨界処理モジュールへ移送する。ワークピースを処理した後、ロボットは第一及び第二のワークピースを移送モジュールの入口へ戻す。あるいは、超臨界処理装置は、移送モジュールに連結されたさらなる超臨界処理モジュールを有する。

請求項（抜粋）：

a)入口を有する移送モジュールと、前記移送モジュールに連結された第一及び第二の超臨界処理モジュールと、前記移送モジュールに連結され、かつ前記入口と前記第一の超臨界処理モジュールの間で第一のワークピースを移動させるように構成され、かつ前記入口と前記第二の超臨界処理モジュールの間で第二のワークピースを移動させるように構成された移送機構とを備えた、第一及び第二のワークピースを超臨界処理する装置。

IPC (7件)：

H01L 21/3065 , G03F 7/42 , H01L 21/027 , H01L 21/304 645 , H01L 21/304 647 , H01L 21/304 648 , H01L 21/304

FI (7件)：

G03F 7/42 , H01L 21/304 645 A , H01L 21/304 647 A , H01L 21/304 648 K , H01L 21/304 648 L , H01L 21/302 104 H , H01L 21/30 572 B

Fターム (15件)：

2H096AA25 , 2H096GA21 , 2H096GA60 , 2H096LA01 , 2H096LA02 , 5F004AA09 , 5F004BA19 , 5F004BB18 , 5F004BC06 , 5F004BD01 , 5F004CA02 , 5F004DA00 , 5F004DB26 , 5F046MA07 , 5F046MA10

引用特許：

審査官引用 (3件)

減圧・常圧処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-148485 出願人：東京エレクトロン株式会社
特表平6-500427
特開平2-209729

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