特許

J-GLOBAL ID：200903068311309250

紫外線用光学部品および波長変換素子ならびに紫外線光源

発明者： 和田 裕之 ,  梅津 暢彦 ,  外崎 峰広 ,  岡 美智雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301948
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197456
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 表面に紫外光に対して耐久性の高い薄膜を形成した紫外線用光学部品を提供する。【解決手段】 波長が200nm以上、300nm以下の連続して発振する紫外光に対して用いる光学部品の表面に、熱伝導率が0.01(J・cm-1・sec-1・K-1)以上の材料で紫外光学薄膜8を形成して紫外線用光学部品を構成する。前記材料としてHfO2 10とMgF2 11の組み合わせ、またはHfO2 10とMgO12とMgF2 11を組み合わせて用いる。また、前記紫外光学薄膜8を非線形光学結晶5の表面に形成して紫外光に対して耐久性の高い波長変換素子9を構成する。更に、前記非線形光学結晶5はBBOまたはCLBOを用いる。

請求項（抜粋）：

波長が200nm以上、300nm以下の紫外光を連続して発振する光学部品であって、前記光学部品の表面に、熱伝導率が0.01(J・cm-1・sec-1・K-1)以上の紫外光学薄膜が形成されていることを特徴とする紫外線用光学部品。

IPC (5件)：

G02F 1/37 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C30B 29/16 ,  G02B 1/02

FI (5件)：

G02F 1/37 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C30B 29/16 ,  G02B 1/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 非線形光学結晶素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-003280   出願人：ソニー株式会社