圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：辻本一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-040537
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239193
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 ?@小型で、?A高価な製造設備を必要としない一般的技術により製造でき、?B設計変更が容易にできる圧力センサを提供すること。【解決手段】導電性の電極10が形成された樹脂フィルム1を弾性を持たせるべく張力を加えてリング体2に固着して成る部品Aと、基板3に少なくとも導電性の電極30を形成して成る部品Bとを具備し、前記電極10,30相互を隙間を設けて対向する態様で、部品Aのリング体2を部品Bの基板3上に配置すると共に、前記電極10,30間に電位差を付与し、樹脂フィルム1に流体圧が作用したときの、前記樹脂フィルム1の変形により生じる電極10,30間の静電容量の変化を電気信号に変換するようにしてある。

請求項（抜粋）：

導電性の電極(10)が形成された樹脂フィルム(1)を弾性を持たせるべく張力を加えてリング体(2)に固着して成る部品(A)と、基板(3)に少なくとも導電性の電極(30)を形成して成る部品(B)とを具備し、前記電極(10)(30)相互を隙間を設けて対向する態様で、部品(A)のリング体(2)を部品(B)の基板(3)上に配置すると共に、前記電極(10)(30)間に電位差を付与し、樹脂フィルム(1)に流体圧が作用したときの、前記樹脂フィルム(1)の変形により生じる電極(10)(30)間の静電容量の変化を電気信号に変換するようにしてあることを特徴とする圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-289423
圧力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-069610 出願人：ニッタ株式会社
特開平1-274027

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