特許
J-GLOBAL ID：200903027470271753
圧力センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069610
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280683
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 応答遅れがほとんど無く且つ制御不能状態となりにくい静電容量式圧力センサを提供すること。【構成】 押込み部となる弾性変形可能な板状の変形電極板1と、前記変形電極板1と一定間隔を設けて対向配設された固定電極板2と、前記変形・固定電極板1,2相互間の静電容量をこれと対応する電気信号に変換する電子装置3とを有しており、前記変形電極板1への押込み力が変形・固定電極板1,2相互間の静電容量と対応する電気信号として出力されるようにしてある。
請求項（抜粋）：
押込み部となる弾性変形可能な板状の変形電極板(1)と、前記変形電極板(1)と一定間隔を設けて対向配設された固定電極板(2)と、前記変形・固定電極板(1)(2)相互間の静電容量をこれと対応する電気信号に変換する電子装置(3)とを有しており、前記変形電極板(1)への押込み力が変形・固定電極板(1)(2)相互間の静電容量と対応する電気信号として出力されるようにしてあることを特徴とする圧力センサー。
IPC (2件)：
引用特許：
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