特許
J-GLOBAL ID：200903068383041022
振動制御したセンサ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334651
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178642
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 圧電素子(20)及び振動部(12)の屈曲振動がセンサ素子自体を振動させて、ノイズが発生する場合があった。そこで、圧電素子及び振動部の屈曲振動を妨害することなく、この屈曲振動が励起するセンサ素子の不要な振動を防止又は低減することが所望される。【解決手段】 振動部(12)を有する基体(10)と、圧電膜(22)と一対の電極(24a、24b)とを有する圧電素子(20)と、基体の少なくとも一部を被覆する振動防止層(30)とを有するセンサ素子。振動防止層が、板(32、34)と、板及び基体を固定するための接着層(36)とを有してもよい。振動防止層(30)には、圧電素子(20)を被覆しないように、穴(38)が形成されてもよい。一対の第1電極(42a、42b)と、多孔体(44)とを有する電池において、上記センサ素子が多孔体(44)の内部に設けられ、多孔体又は第1電極が振動防止層として作用する電池。
請求項（抜粋）：
振動部を有する基体と、当該振動部の一方の表面に固定され、かつ、圧電膜と当該圧電膜を挟む一対の電極とを有する圧電素子と、当該基体の少なくとも一部を被覆する振動防止層とを有することを特徴とするセンサ素子。
IPC (3件)：
G01N 11/10
, G01N 11/16
, H01L 41/08
G01N 11/10
, G01N 11/16 Z
, H01L 41/08 Z
