特許

J-GLOBAL ID：200903068386298326

水熱合成法によるPZT結晶膜の生成方法及び装置

発明者： 竹内 真一 ,  石河 睦生 ,  桂 尚樹 ,  佐藤 敏夫 ,  辻 毅一 ,  川島 徳道 ,  黒澤 実
出願人/特許権者： 学校法人桐蔭学園 ,  耐圧硝子工業株式会社
代理人 (2件)： 須田 孝一郎 ,  須田 元也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-079425
公開番号（公開出願番号）：特開2004-284887
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】水熱合成法によりPZT結晶膜を化学的に安定かつ取り扱いやすい状態で生成するための新しい生成方法および装置の提供を図る。【解決手段】圧電性結晶を生成するための基板を、オートクレーブ内に設けた攪拌羽根に保持させ、当該攪拌羽根を回転させることにより、当該基板表面に対するオートクレーブ内の結晶生成用溶液の接触圧力を高めた状態で成膜を図るようにする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

結晶生成用溶液の出発原料として用いる四塩化チタン(TiCL4)、塩化酸化ジルコニウム八水和物および硝酸鉛(Pb(NO3)2)の水溶液と水酸化カリウム(KOH)の混合液中で圧電結晶を生成するための基板を、オートクレーブ内に設けた攪拌羽根に保持させ、当該攪拌羽根を回転させることにより、当該基板表面に対するオートクレーブ内の結晶生成用溶液の接触圧力を高めた状態で成膜を図るようにしたことを特徴とする水熱合成法によるPZT結晶膜の生成方法。

IPC (4件)：

C30B29/32 ,  C30B7/10 ,  H01L41/187 ,  H01L41/24

FI (4件)：

C30B29/32 D ,  C30B7/10 ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101D

Fターム (13件)：

4G077AA03 ,  4G077BC43 ,  4G077CB04 ,  4G077EA03 ,  4G077EC08 ,  4G077ED06 ,  4G077EG03 ,  4G077EG14 ,  4G077FK02 ,  4G077FK16 ,  4G077HA11 ,  4G077KA09 ,  4G077KA13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 誘電体結晶膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-033890   出願人：宇部興産株式会社