特許
J-GLOBAL ID：200903068396010207
緻密質窒化珪素焼結体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有賀 三幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-080297
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279365
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【解決手段】 相対密度が97%以上の窒化珪素焼結体であって、該焼結体を構成する窒化珪素粒子が、最大粒子径3μm未満で、平均粒子径0.5μm以下であり、かつ粒径1.2μm未満の窒化珪素粒子が80体積%以上である窒化珪素焼結体。【効果】 高強度で強度のバラツキが少ない。
請求項（抜粋）：
相対密度が97%以上の窒化珪素焼結体であって、該焼結体を構成する窒化珪素粒子が、最大粒子径3μm未満で、平均粒子径0.5μm以下であり、かつ粒径1.2μm未満の窒化珪素粒子が80体積%以上である窒化珪素焼結体。
引用特許：
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