特許
J-GLOBAL ID：200903068439513020
ウェーハ受台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-251463
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087476
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハと自立型カセットとウェーハ受台との間で噛み合いやこじれの発生がなく、ウェーハを自立型カセットからウェーハ受台へ確実に移し換えることのできるウェーハ受台を提供する。【解決手段】 ウェーハ洗浄装置に付設されるウェーハ自動移載装置で用いられるウェーハ受台であって、外に凸のアール付きV字形溝部15aの溝底にY字形溝部15cを連接した形状からなるウェーハ受け溝15を、ウェーハ受台14の一方の端部から他方の端部に向けて所定の傾斜角φで徐々に高くなっていくように高低差を与えながら並設する。さらに、前記V字形溝部15aに連接するY字形溝部15bの上部テーパ部15cをウェーハ下端部の面取り角よりも大きなテーパ角で拡開するテーパ面とし、かつ、該上部テーパ部15cに続く下部垂直溝部15dの溝幅をウェーハの厚さよりも狭く構成する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ洗浄装置に付設されるウェーハ自動移載装置で用いられるウェーハ受台であって、外に凸のアール付きV字形溝部の溝底にY字形溝部を連接した形状からなるウェーハ受け溝を、ウェーハ受台の一方の端部から他方の端部に向けて所定の傾斜角で徐々に高くなっていくように高低差を与えながら並設したことを特徴とするウェーハ受台。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 341
H01L 21/68 N
, H01L 21/304 341 C
