特許

J-GLOBAL ID：200903068508383915

ターボ分子ポンプ

発明者： 岡村 知明 ,  琴浦 貞行
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 岡本 重文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227940
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072293
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 ねじ溝ポンプ段のガス流路を、ガスの昇華温度以上に加熱可能とした。【解決手段】 ガスの吸気口2と排気口3を有するポンプのケーシング1内に、軸方向に交互に配列された複数の動翼5及び静翼4と、これら翼の排気側に連設されたねじ溝ポンプ段9と、前記動翼4の位置間隔を固定するスペーサ19とを有するターボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝ポンプ段9のガス流路に放熱板20を設け、同放熱板20とポンプ外部に位置する加熱部15とを熱の良導体17で連結したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガスの吸気口と排気口を有するポンプのケーシング内に、軸方向に交互に配列された複数の動翼及び静翼と、同動翼及び静翼の排気側に連設されたねじ溝ポンプ段と、前記静翼の位置間隔を固定するスペーサとを有するターボ分子ポンプにおいて、前記ねじ溝ポンプ段のガス流路に放熱板を設け、同放熱板とポンプ外部に位置する加熱部とを熱の良導体で連結したことを特徴とするターボ分子ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-320205   出願人：三菱重工業株式会社