表面検査方法および表面検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木市郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-218273
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028808
出願日： 2001年07月18日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】検査に際して直線走行する被検査体の表面形状が、走行方向の順、逆に対して異方性のある場合でも、確実に欠陥の検出をすること。【解決手段】直線走行するように搬送されると共に、表面形状が走行方向の順、逆に対して異方性のある被検査体の表面傷を検査するために、被検査体の走行面に対して垂直な方向から被検査体の表面にレーザ光を照射し、被検査体の走行方向の上流側と下流側とにおいて、被検査体表面から生じる正反射光が直接入射しないように配置され、かつ、それぞれ同一の検出角度でレーザ散乱光を検出する対をなす検出光学系によって、被検査体表面から生じたレーザ散乱光をそれぞれ検出してこれを数値化し、対をなす検出光学系によって検出したレーザ散乱光強度同士の演算結果により、被検査体表面の欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

直線走行するように搬送されると共に、表面形状が走行方向の順、逆に対して異方性のある被検査体の表面の欠陥を検査する方法であって、被検査体の走行面に対して垂直な方向から被検査体の表面にレーザ光を照射し、被検査体の走行方向の上流側と下流側とにおいて、被検査体表面から生じる正反射光が直接入射しないように配置され、かつ、それぞれ同一の検出角度でレーザ散乱光を検出する対をなす検出光学系によって、被検査体表面から生じたレーザ散乱光をそれぞれ検出してこれを数値化し、対をなす検出光学系によって検出したレーザ散乱光強度同士の演算結果により、被検査体表面の欠陥を検出することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/892 , B21C 51/00 , G01B 11/30

FI (4件)：

G01N 21/892 B , G01N 21/892 A , B21C 51/00 R , G01B 11/30 A

Fターム (31件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB01 , 2F065DD04 , 2F065FF42 , 2F065GG04 , 2F065HH05 , 2F065JJ02 , 2F065LL02 , 2F065LL15 , 2F065LL62 , 2F065MM03 , 2F065MM16 , 2F065PP16 , 2F065SS03 , 2F065SS04 , 2G051AA37 , 2G051AA41 , 2G051AB07 , 2G051BB01 , 2G051BB03 , 2G051BB05 , 2G051BC06 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051FA01

引用特許：

出願人引用 (8件)

欠陥検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-352334 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭57-056704
特開昭50-129286

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審査官引用 (11件)

特開昭57-056704
特開昭57-056704
特開昭50-129286

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