特許

J-GLOBAL ID：200903068541551750

半導体製造装置用ポンプ

発明者： 西尾 清志 ,  今西 良 ,  藤井 睦 ,  湊 洋二
出願人/特許権者： 日本ピラー工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-002934
公開番号（公開出願番号）：特開平10-196521
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 脈動の発生を抑制し液体を連続してスムースに循環輸送することができ、しかも配管構成の簡略化と全体の小型化により設置スペースを大幅に削減する。【解決手段】 液体流入路2及び流出路3とを備えた仕切壁1の両側部に固定連設されたケーシング6,17内に互いに対向させてベローズ7,18を設け、そのうち一方のベローズ7をエアシリンダ部14を介して駆動伸縮可能にするとともにこのベローズ7内に形成されたポンプ作用室9aに交互に開閉作動して液体の吸入作用および吐出作用を行なう逆止弁16a,16bを設けて往復動ポンプ部4を構成する一方、他方のベローズ17側にポンプ部4から吐出される液体を一時的に貯溜可能な液室20aとこの液室20aに対し隔離形成されて脈動抑制用の気体が封入される空気室20bとを形成してベローズ17の伸縮変形に伴う液室20aの容量変化によりポンプ部4のポンプ作用室9aから吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させる脈動抑制部5を構成させている。

請求項（抜粋）：

液体の流入路及び流出路とを備えた仕切壁と、この仕切壁の一側部に固定連設されたケーシング内を往復運動するポンプ作用体とこのポンプ作用体を駆動往復運動させるエアシリンダ部と上記ポンプ作用体の往復運動に伴って交互に開閉作動して液体の吸入作用および吐出作用を行なう逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備えてなる往復動ポンプ部と、上記仕切壁の他側部に固定連設されたケーシング内に上記往復動ポンプ部のポンプ作用体に対向して配設され該ポンプ作用体の往復運動方向に往復運動可能な往復動体とこの往復動体の一側に形成されて上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に貯溜可能な液室と上記往復動体の他側に液室に対し隔離形成されて脈動抑制用の気体が封入される気室とを備え、上記往復動体の往復運動に伴う上記液室の容量変化により上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させるように構成した脈動抑制部と、を具備していることを特徴とする半導体製造装置用ポンプ。

IPC (3件)：

F04B 11/00 ,  F04B 43/06 ,  F04B 43/08

FI (3件)：

F04B 11/00 Z ,  F04B 43/08 A ,  F04B 43/06 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ポンプの脈動幅抑制装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-307517   出願人：日本ピラー工業株式会社
• 複成隔膜ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-297272   出願人：アルマテックテクニシェインノヴァチオネンゲーエムベーハー