特許
J-GLOBAL ID：200903068568551027
音波及び衝撃波の妨害を最小にするレ-ザチャンバ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057463
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317556
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 音波及び衝撃波の妨害を最小にするレーザチャンバを提供する【解決手段】 レーザチャンバは、音波及び衝撃波の妨害を最小にするために音波及び衝撃波をレーザ放電領域から離れるように反射させるアングルド・レフレクターを有し、それは、音波及び衝撃波の消失を助けるために異なる構成を有する。例えば、アングルド・レフレクターは、表面に構成された溝又はホールを有するような、調整された反射表面を有し、音波及び衝撃波吸収特性を備える反射表面を有しうる。吸収特性を備える反射表面は、フェルト金属で良く、又は、複数の層状多孔性表面を有する。レーザチャンバの壁は、吸収、散乱を介し、反射波に干渉を生成させることによって音波及び衝撃波の消失を助けるように調整され、複数の層状多孔性表面は、入射波を吸収し且つ散乱するために壁に沿って使用されうる。
請求項（抜粋）：
レーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に包含された電極構造と、を有し、前記電極構造はレーザ放電領域を構成する距離だけ分離されたアノードとカソードとからなり、前記レーザチャンバ内にアングルド・レフレクターと、を有し、前記アングルド・レフレクターは前記レーザ放電領域から生じた波を前記レーザ放電領域から離れるように反射する、レーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 F
, H01S 3/03 B
