特許
J-GLOBAL ID：200903068572917206
固体撮像素子用カバーガラス
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112067
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283731
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 減反射膜からの放射線放出量が少なく、また減反射膜とガラス基板の熱膨張係数が近似しているため、減反射膜の剥離や割れが少ない固体撮像素子用カバーガラスを提供することを目的とする。【解決手段】 ガラス基板の表面に減反射膜が形成されてなる固体撮像素子用カバーガラスにおいて、減反射膜が、酸化チタンからなる膜と酸化珪素からなる膜を交互に、4層以上配設した膜構造を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ガラス基板の表面に減反射膜が形成されてなる固体撮像素子用カバーガラスにおいて、減反射膜が、酸化チタンからなる膜と酸化珪素からなる膜を交互に、4層以上配設した膜構造を有することを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, C03C 17/34
, H04N 5/335
H01L 27/14 D
, C03C 17/34 Z
, H04N 5/335 Z
