特許
J-GLOBAL ID：200903068600716343
発光走査型トンネル顕微鏡および顕微測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107864
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317600
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】高い空間分解能及び高感度を有し、かつ試料表面のみならず当該試料深部に埋設された量子構造の光学的評価をも可能とする発光走査型トンネル顕微鏡および顕微測定方法を提供する。【構成】表面に光透過自在に極く薄く単体金属薄膜3を被着しかつ試料表面4aに対し垂直に配設された光透過率の高い材料からなる透明探針1と、当該透明探針1に一端を光学的に接続された光導波路2と、当該単体金属薄膜3を介して前記透明探針1及び前記試料4間にバイアス電圧を印加するバイアス電源5と、前記光導波路2の他端に接続され前記試料4からの発光Lを検出する光検出器8とを備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
表面に光透過自在に極く薄く単体金属薄膜を被着しかつ試料表面に対し垂直に配設された光透過率の高い材料からなる透明探針と、当該透明探針に一端を光学的に接続された光導波路と、前記単体金属薄膜を介して前記透明探針及び前記試料間にバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記光導波路の他端に接続され前記試料からの発光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする発光走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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