特許
J-GLOBAL ID:200903068614813490

光学系の調整方法及び調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-291566
公開番号(公開出願番号):特開2002-098875
出願日: 2000年09月26日
公開日(公表日): 2002年04月05日
要約:
【要約】【課題】 光学系の調整群の調整量と調整方向が分かり、それに基づいて自動的に光軸調整を行うことが可能な光学系の調整方法と装置。【解決手段】 光学系を構成する光学要素2の相対位置を調整する方法であって、基準軸の一方の端に配置されたチャート8と他方の端に配置された撮像素子15の相対位置を変化させるステップと、各々の相対位置において光学系を介してチャート8の像を撮像するステップと、撮像素子15から出力された出力信号に基づいて光学系の光学的評価値を算出するステップと、複数の光学的評価値より光学系の一部2を保持する保持部材4を移動させるステップとを有する光学系の調整方法。
請求項(抜粋):
光学系を構成する光学要素の相対位置を調整する方法であって、基準軸の一方の端に配置されたチャートと該基準軸上に配置された光学系の相対位置を変化させるステップと、各々の相対位置において前記光学系を介して前記チャートの像を前記基準軸の他方の端に配置した撮像素子で撮像するステップと、前記撮像素子から出力された出力信号に基づいて前記光学系の光学的評価値を算出するステップと、前記複数の光学的評価値より前記光学系の一部を保持する保持部材を移動させるステップとを有することを特徴とする光学系の調整方法。
IPC (2件):
G02B 7/02 ,  G01M 11/02
FI (2件):
G02B 7/02 C ,  G01M 11/02 A
Fターム (1件):
2H044AC01
引用特許:
審査官引用 (3件)

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