特許

J-GLOBAL ID：200903068679997040

表面変位計測方法および表面変位計測装置

発明者： 内野 正和
出願人/特許権者： 福岡県
代理人 (1件)： 加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-253163
公開番号（公開出願番号）：特開2005-099012
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】デジタル画像相関法を利用してヒータブロック等の一般構造物が外力や温度変化等の要因により変形した場合のその表面の変位量を計測するに際して、レンズの収差や撮像素子の画素の特性等を考慮した高精度な計測を行うことを可能にする。【解決手段】計測対象物1を画像のα0(α0:1未満の小数)画素に対応する所定移動量ずつ移動させながら順次CCDカメラ2により撮像し、各画像をそれぞれ比較することにより、各画像上の画素の移動量と計測対象物1の所定移動量との関係から校正曲線を作成し、CCDカメラ2により計測対象物1の変形前後の画像をそれぞれ撮像し、撮像した変形前後の画像を比較することにより、変形前後の画像上の画素の移動量N1+α1(N1:整数、α1:1未満の小数)を算出し、この算出した画素の移動量から校正曲線を用いて計測対象物1の表面の変位量を算出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

計測対象物を撮像装置により撮像して前記計測対象物の表面の変位量を計測する表面変位計測方法であって、 前記撮像装置または計測対象物を前記画像のα0(α0:1未満の小数)画素に対応する所定移動量ずつ移動させながら順次前記撮像装置により撮像し、この撮像した各画像をそれぞれ比較することにより、各画像上の画素の移動量と前記撮像装置または計測対象物の所定移動量との関係から校正曲線を作成する校正曲線作成ステップと、 前記撮像装置により計測対象物の変形前後の画像をそれぞれ撮像し、この撮像した変形前後の画像を比較することにより、変形前後の画像上の画素の移動量N1+α1(N1:整数、α1:1未満の小数)を算出し、この算出した画素の移動量から前記校正曲線を用いて前記計測対象物の表面の変位量を算出する表面変位量算出ステップと を含む表面変位計測方法。

IPC (1件)：

G01B11/00

FI (1件)：

G01B11/00 H

Fターム (15件)：

2F065AA09 ,  2F065AA65 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-024247   出願人：横河電機株式会社
• 特開平4-250304
  
• 特開平1-173803
  

審査官引用 (3件)

• 変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-024247   出願人：横河電機株式会社
• 特開平4-250304
  
• 特開平1-173803