特許
J-GLOBAL ID：200903092901245697
変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-024247
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222504
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】光学系の収差などによってずれ量と変位量との間に非直線性が発生して誤差が生じ、また基準画像を変更するときに誤差が累積してしまうという課題を解決する。【解決手段】ずれ量から変位量を求める光学倍率をずれ量を変数とする関数とし、また基準画像切り替え準備条件が成立すると基準画像候補を設定して複数回基準画像と基準画像候補との距離に相当する量を測定して、この距離に相当する量の平均的な値を基準画像の位置に加算した後に基準画像候補を新たな基準画像とするようにした。収差などに起因する非直線性を補正でき、また誤差が累積しない。
請求項（抜粋）：
測定対象物の測定画像から基準画像に類似する部分を検索して、前記測定画像と前記基準画像とのずれ量を求め、このずれ量から前記測定対象物の変位量を測定する変位測定装置において、前記ずれ量から前記変位量を求める光学倍率係数を前記ずれ量の関数とし、この光学倍率係数の関数を用いて前記ずれ量から前記変位量を算出するようにしたことを特徴とする変位測定装置。
Fターム (19件)：
2F065AA09
, 2F065DD00
, 2F065EE05
, 2F065FF42
, 2F065FF61
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065QQ00
, 2F065QQ01
, 2F065QQ03
, 2F065QQ17
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ28
, 2F065QQ38
, 2F065QQ41
, 2F065QQ42
, 2F065SS03
