半導体用粘着シート

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-168912
公開番号（公開出願番号）：特開2001-348539
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：

【要約】【課題】製品品位の低下やコスト的な不利益がなく、しかもダイシング時の糸状屑の発生の少ない半導体用粘着シートを提供すること。【解決手段】基材フィルム上に粘着剤層が設けられた半導体用粘着シートにおいて、前記基材フィルムが、活性シラン変性ポリオレフィン系ポリマーの架橋物を含有することを特徴とする半導体用粘着シート。

請求項（抜粋）：

基材フィルム上に粘着剤層が設けられた半導体用粘着シートにおいて、前記基材フィルムが、活性シラン変性ポリオレフィン系ポリマーの架橋物を含有することを特徴とする半導体用粘着シート。

IPC (2件)：

C09J 7/02 , H01L 21/301

FI (2件)：

C09J 7/02 Z , H01L 21/78 M

Fターム (11件)：

4J004AA05 , 4J004AA06 , 4J004AA10 , 4J004AA11 , 4J004AB01 , 4J004AB06 , 4J004CA04 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004FA05

引用特許：

審査官引用 (9件)

難燃性テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-180440 出願人：日本石油化学株式会社
難燃性テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-180441 出願人：日本石油化学株式会社
絶縁テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-064058 出願人：東海ゴム工業株式会社, 三菱電線工業株式会社

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