特許

J-GLOBAL ID：200903070670435850

紫外線硬化型粘着シ-ト

発明者： 山本 昌司 ,  中川 善夫 ,  久保園 達也 ,  赤沢 光治 ,  橋本 浩一 ,  福岡 孝博
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074746
公開番号（公開出願番号）：特開2000-104026
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ貼付待機時において周辺環境からの微量紫外線暴露によって紫外線硬化性粘着剤が反応することがなく、ウエハ貼付時に良好な粘着特性のまま使用するできる半導体保護用粘着シート及び半導体ウエハ固定用シート等として有用な紫外線硬化型粘着シートを得る。【解決手段】 紫外線硬化型粘着シートは、基材フィルムの少なくとも片面に紫外線硬化型粘着剤層を設け、さらに該粘着剤層の表面にセパレータを貼付してなる紫外線硬化型粘着シートであって、該セパレータの波長300〜400nmにおける紫外線透過率が65%以下であることを特徴とする。前記紫外線吸収率を65%以下にする方法には、例えば、セパレータを構成するフィルムの粘着剤層貼付面の反対面に紫外線吸収剤を含む層を設ける方法、該フィルム中に紫外線吸収剤を含有させる方法などが含まれる。

請求項（抜粋）：

基材フィルムの少なくとも片面に紫外線硬化型粘着剤層を設け、さらに該粘着剤層の表面にセパレータを貼付してなる紫外線硬化型粘着シートであって、該セパレータの波長300〜400nmにおける紫外線透過率が65%以下であることを特徴とする紫外線硬化型粘着シート。

IPC (3件)：

C09J 7/02 ,  H01L 21/301 ,  C09J 9/00

FI (3件)：

C09J 7/02 Z ,  C09J 9/00 ,  H01L 21/78 M

Fターム (10件)：

4J004AA10 ,  4J004AB07 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC03 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-125645   出願人：日東電工株式会社
• 飛散防止・省エネフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-258109   出願人：大日本印刷株式会社
• ガラス板用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-034993   出願人：積水化学工業株式会社