特許
J-GLOBAL ID：200903068704878957
IC検査用オートハンドラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336279
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178807
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 ICの電気特性を検査するハンドラでは、IC種類に対応した検査用プログラムをテスタに具備させる必要があり、IC種類が増えるとテスタ規模が大きくなり、また検査用プログラムが適正でないとICを破損するおそれがある。【解決手段】 ストッパ3におかれたICを撮像装置4で撮像し、画像認識装置5でICの種類を認識し、比較装置6においてICの種類に対応する検査用プログラムをプログラム記憶装置8から読み出し、ロード命令出力装置9はこの検査用プログラムをテスタ10にロードする。テスタ10はICにコンタクト12で電気接続され、ロードされた検査用プログラムに基づいてICの電気特性を検査する。複数種類のICが混在状態で検査される場合でも、各ICに対応した検査用プログラムをその都度ロードさせるため、適切な検査が可能となり、かつテスタは最低限必要とされる検査用プログラムを記憶すればよく、その構成規模が縮小できる。
請求項（抜粋）：
IC(半導体集積回路装置)の端子に電気接続を行い、所要の通電を行って電気的特性の検査を行うIC検査用オートハンドラにおいて、前記ICを撮像し、その撮像データに基づいてICの種類を認識する手段と、異なる種類のICのそれぞれに対応する複数種類の検査用のプログラムを記憶しているプログラム記憶手段と、ロードされる検査用プログラムに基づいてICに対する電気的特性検査を行うテスタと、前記IC種類の認識手段の認識結果に基づいてプログラム記憶手段に記憶されている検査用プログラムのうちから認識されたICに対応する検査用プログラムを前記テスタにロードさせる手段とを備えることを特徴とするIC検査用オートハンドラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, G01R 31/28 X
