マスク検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325066
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147747
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】人が非接触でマスクの傷などの有無を確実に検査することができるマスク検査装置を提供する。【解決手段】マスク検査においては、まず、操作ボタン61を押圧して、窒素ガスガン42から窒素ガスを吹き出させて、窒素ガスをマスク表面に吹き付ける。これにより、マスク表面に付着したゴミや異物などを除去する。次いで、操作ボタン62を押圧して集光機52から光をマスクに照射した状態で、回転モータ23を動作させてアーム22を回転させる。これにより、マスクの表面の向きを変えて、照射した光の反射を観察してマスク表面に傷などがあるかどうかを検査する。

請求項（抜粋）：

マスクに人の手が非接触の状態で前記マスクの検査を行なうマスク検査装置であって、マスクを把持する把持手段と、前記マスクの表面の向きを変えるように前記把持手段を反転する反転手段と、前記マスクに対して光を照射する光照射手段と、を具備することを特徴とするマスク検査装置。

IPC (3件)：

G03F 1/08 , G01N 21/88 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 S , G01N 21/88 645 A , H01L 21/30 502 V

Fターム (11件)：

2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051AC12 , 2G051AC22 , 2G051BA00 , 2G051CA11 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051DA08 , 2H095BD04 , 2H095BD29

引用特許：

審査官引用 (7件)

マスク外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-273261 出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
特開平3-284751
フレームの貼着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-236940 出願人：株式会社ニコン

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