ダイボンディング用接着ペースト塗布方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮越典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360723
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176894
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】ダイボンディング用接着ペースト塗布時に、ペーストの糸引き現象を抑制し、リードフレーム間のショート不良やダイ表面へのショートをなくす。【解決手段】ダイボンディング用接着ペースト塗布装置10におけるリードフレーム13は、リードフレーム搬送用のレール15により搬送され、ペースト塗布作業ステージにおいて、ペーストの入ったシリンジ11からダイ接着されるアイランド部17に接着ペースト12が打点される。このとき、接着ペーストを打点する作業ステージにおけるリードフレームの下部に超音波振動発生装置16を接着させ、これを作動させることにより超音波振動を加える。

請求項（抜粋）：

半導体装置のダイボンディング用接着ペースト塗布方法において、接着ペーストを打点する作業ステージに位置したリードフレームの下部より超音波振動を加えることで、前記接着ペーストの粘性による糸引き現象を防止することを特徴とするダイボンディング用接着ペースト塗布方法。

Fターム (7件)：

5F047AA11 , 5F047BA21 , 5F047BB11 , 5F047BB16 , 5F047FA22 , 5F047FA32 , 5F047FA41

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-244744
ペレット付け方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-113302 出願人：ローム株式会社
特開昭63-244744

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