特許
J-GLOBAL ID：200903068857741128
表面平滑性の検査方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永田 久喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220728
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115514
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 不透明な樹脂板等の試料板2やその他の被検査物の表面の平滑性を客観的に数値化して検査することができる表面平滑性の検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】 投影機1からの多数の円形を配置した検査パターンを試料板2の表面で反射させてスクリーン3に投影すると共に、このスクリーン3上の投影像をCCDカメラ4で撮像する。このCCDカメラ4で撮像した投影像に基づき、画像解析部7の画像処理部8で各円形の径を測定し、平滑性検査部9でこれらの円形の径の標準偏差を算出する。
請求項（抜粋）：
投影機を用いて、同一の孤立図形を適宜間隔で多数2次元的に配置した検査パターンを被検査面に対して斜め方向から投光することにより、この被検査面で反射された検査パターンをスクリーンに投影し、このスクリーンに映し出された検査パターンの投影像をカメラで撮像し、このカメラが撮像した投影像における各図形の図形特徴値をそれぞれ測定して、これらの図形特徴値のバラツキの程度により平滑性を検査することを特徴とする表面平滑性の検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/30 101
, G01N 21/88
, G01N 21/89
, G06T 7/00
G01B 11/30 101 A
, G01N 21/88 Z
, G01N 21/89 A
, G06F 15/62 400
