エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡の自動調節

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-507913
公開番号（公開出願番号）：特表2000-515675
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】コンピュータを用いてEFTEMのエネルギ・フィルタリング・システムを自動的に調節する。コンピュータは、エネルギ選択スリットをビーム経路内に挿入し、スリットに一体化した電流センサと電子カメラの読み出しとの組み合わせによって、電子ビームの位置の監視を始める。ビーム・センサを監視しながら、エネルギ分散エレメントを調節することによって、スリット内にビームのセンタリングを行なう。初期整合の後、スリットを後退させ、エネルギ・フィルタの入射口に基準アパーチャを挿入する。電子カメラは基準アパーチャのイメージを捕獲し、コンピュータは、アパーチャ・イメージのその既知の物理的寸法からの変位を分析し、電子光学的歪みおよびフィルタの収差を評価する。コンピュータは決定した光学パラメータを用いて、フィルタの歪みおよび収差補正光学エレメントを調節する。その影響は以前の較正によりわかっている。イメージ化収差を補正した後、基準アパーチャを後退させ、スリットを再度挿入し、スリット縁部を横切ってビームをスキャンしつつ、電子カメラ上における透過したビームの強度を積分することにより、スリット面におけるフィルタの等色面を測定する。こうして電子カメラによって収集した等色面をコンピュータによって分析して、フィルタ・システムの更なる収差係数を抽出する。これらの測定された収差係数を用いて、フィルタ光学系の較正された補正を行なう。

請求項（抜粋）：

エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡のエネルギ・フィルタリング・システムの電子光学的収差を補正するための前記顕微鏡の自動調節方法であって、前記エネルギ・フィルタのエネルギ選択スリットによって規定されるスリット開口を通過するエネルギ分散電子ビームの割合を判定するステップであって、前記エネルギ・フィルタを通過するビーム経路内に前記スリット開口を配置する、ステップと、前記電子ビームの少なくとも規定した割合が前記スリット開口を通過する場合に、前記電子ビームが前記スリット開口と粗く整合されたことを示すステップと、を備えるエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡の自動調節方法。

IPC (3件)：

H01J 37/26 , H01J 37/05 , H01J 37/244

FI (3件)：

H01J 37/26 , H01J 37/05 , H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-060038
透過電子顕微鏡用又は電子エネルギー損失分析電子顕微鏡用の撮像方法及び撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-165718 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-114125

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