光学式変位計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大槻聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-121755
公開番号（公開出願番号）：特開2009-270939
出願日： 2008年05月08日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：

【課題】集光レンズの出射側端面と測定対象物との間の距離を高い精度で計測することができる光学式変位計を提供する。【解決手段】計測用の検出光として広帯域光を生成するSLD12と、検出光を集光し、ワークWに向けて出射する出射側端面33が平面のロッドレンズ32と、ロッドレンズ32に入射されたワークWによる反射光及び出射側端面33による反射光を分光し、波長分布の特性曲線における周波数を求めてワークW及び出射側端面33間の距離を算出する分光装置40により構成される。ロッドレンズ32は、出射側端面33から遠ざかるに従って照射スポットが広くなる光として検出光Lを出射するレンズである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

計測用の検出光として広帯域光を生成する広帯域光源装置と、上記検出光を集光し、測定対象物に向けて出射する出射側端面が平面の集光レンズと、上記集光レンズに入射された上記測定対象物による反射光及び上記出射側端面による反射光を分光し、波長分布の特性曲線の周波数を求めて上記測定対象物及び上記出射側端面間の距離を算出する分光装置とを備え、上記集光レンズは、上記出射側端面から遠ざかるに従って照射スポットが広くなる上記検出光を出射するレンズであることを特徴とする光学式変位計。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 9/02

FI (2件)：

G01B11/00 G , G01B9/02

Fターム (36件)：

2F064AA01 , 2F064EE01 , 2F064FF03 , 2F064FF07 , 2F064GG03 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG24 , 2F064GG44 , 2F064GG45 , 2F064GG49 , 2F064HH02 , 2F064HH07 , 2F064JJ15 , 2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065AA17 , 2F065DD02 , 2F065FF51 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL02 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL20 , 2F065LL42 , 2F065LL67 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ23 , 2F065QQ29 , 2F065SS13

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭62-71804号公報
光ファイバプローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-270723 出願人：アンリツ株式会社
周波数変調光ファイバ変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-211430 出願人：チィングホォアユニバーシティ, 下河辺明, 株式会社東京精密

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