特許
J-GLOBAL ID：200903068903109334
脂肪族ポリイミド組成物及び画像形成法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189469
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098667
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【目的】 脂肪族ポリイミド組成物及び画像形成法の提供。【構成】 脂肪族テトラカルボン酸ジ無水物と脂肪族ジアミンの重縮合した溶剤可溶のポリイミドであって、光酸発生剤の存在下にポジ型感光性を示す溶剤可溶の共重合脂肪族ポリイミド組成物は、i線365nm以下の短波長光に対し高い透明性を有すると共に、アルカリ現像により基板との密着性の優れた極めて良好なサブミクロンの画像解像がなされたパターンが得られた。本発明の感光性脂肪族共重合ポリイミドは、半導体や電子部品等の製造分野に幅広く利用することができる。
請求項（抜粋）：
脂肪族テトラカルボン酸ジ無水物と脂肪族ジアミンの重縮合した溶剤可溶のポリイミドであって、光酸発生剤の存在下にポジ型感光性を示す溶剤可溶の共重合脂肪族ポリイミド組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/037 501
, C08L 79/08
, G03F 7/027
G03F 7/037 501
, C08L 79/08
, G03F 7/027
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE01
, 2H025BE07
, 2H025CB25
, 2H025CB33
, 2H025CB55
, 2H025EA04
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J002CM041
, 4J002EB116
, 4J002EJ046
, 4J002EJ066
, 4J002EQ016
, 4J002EV236
, 4J002EV246
, 4J002EV276
, 4J002EV296
, 4J002FD200
, 4J002FD206
, 4J002GP03
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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