特許

J-GLOBAL ID：200903068930162441

光学薄膜とその製造方法

発明者： 川俣 健 ,  豊原 延好 ,  生水 利明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259139
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101301
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 少ない層数で充分な光学特性を有する光学薄膜をスパッタリング法により形成する。【構成】 無機フッ化物とフッ素樹脂との混合物で構成したターゲットを、スパッタリングすることにより、基板上に薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

無機フッ化物とフッ素樹脂との混合物で構成したターゲットを、スパッタリングすることにより、基板上に薄膜を形成することを特徴とする光学薄膜の製造方法。

IPC (9件)：

G02B 1/11 ,  C01D 3/02 ,  C01F 5/28 ,  C01F 7/50 ,  C01F 7/54 ,  C01F 11/22 ,  C23C 14/34 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-132892   出願人：松下電工株式会社
• 特開平2-165101
  
• 特開昭62-073202
  
• 特開昭55-037429