特許
J-GLOBAL ID：200903068935052725

有機EL素子用蒸着マスクと有機EL素子用蒸着マスクの製造方法

発明者：
中川 宏史

中川 宏史 について

, 
井上 和彦

井上 和彦 について


出願人/特許権者：
九州日立マクセル株式会社

九州日立マクセル株式会社 について


代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-149634
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045657
出願日： 2002年05月23日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】 均一な高さ寸法を有する発光層を高精度に再現性良く形成することができ、さらに安価に製造可能な有機EL素子用蒸着マスクとその製造方法を得るにある。【解決手段】 マスク本体5が下段層3と上段層2との2層構造である。マスク本体5に多数の蒸着通孔8を設ける。各通孔8は、上段層2側の小孔部10と、下段層3側の大孔部11とからなる外広がり状のテーパー形状とし、広い角度で気化源4からの気化物を受け入れられるようにする。これにて、マスク本体5の板厚を大きくした場合に不可避の通孔8の開口上端縁による影をなくして、均一な高さ寸法を有する断面形状の発光層7を精度良く形成することができる。
請求項（抜粋）：
電着金属からなるマスク本体5に、発光層形成用の蒸着通孔8が上下貫通状に多数独立して設けられた有機EL素子用の蒸着マスクであって、前記マスク本体5は、発光層7の蒸着対象である基板1側に位置する上段層2と、該上段層2の下面側、すなわち気化源4からの気化物の飛来方向に形成された下段層3とからなり、各通孔8は、上段層2に内周面がストレート状に設けられた小孔部10と、この小孔部10に連通して該小孔部10よりも大きな開口寸法で下段層3側に設けられた大孔部11とからなり、大孔部11の左右を区画する互いに対向する下段層3の内周面が、気化物の飛来方向に行くほど対向間隔の広がった外広がりのテーパー形状をなしていることを特徴とする有機EL素子用蒸着マスク。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H05B 33/14
FI (3件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  H05B 33/14 A
Fターム (9件)：
3K007AB11 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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