特許
J-GLOBAL ID：200903068942866665
回折格子アレイの作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294137
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138632
出願日： 1995年11月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】狭ピッチの格子縞であっても、感光材料にマスターの回折格子を忠実に再現した回折格子セルを形成し、回折格子アレイを比較的容易に、かつ高精度に作製する手段を提供する。【解決手段】マスター・グレーティングに対して1本の可干渉光を照射することによって発生する回折光のうち、2つの回折光(0次回折光と1次回折光)を用いた2光束干渉による回折格子セルを感光材料上に順次配置する。マスター・グレーティングには、複数種類の回折格子が存在していても良い。
請求項（抜粋）：
回折格子からなるセルをマトリクス状に配置して構成される回折格子アレイの作製にあたって、以下の工程を具備することを特徴とする回折格子アレイの作製方法。(a)回折格子アレイの構成要素であるセルと同一の回折格子を有する少なくとも1種類のマスター・グレーティングを準備する工程。(b)感光材料上に配設する回折格子セルに対応するマスター・グレーティングを選択し、前記マスター・グレーティングに可干渉光を入射させ、前記マスター・グレーティングを透過直進する光と、前記マスター・グレーティングにより透過回折する光と、からなる1対の光を発生させる工程。(c)上記1対の光を、結像系を用いて感光材料上で干渉させ、マスター・グレーティングに依存した回折格子セルを配設する工程。(d)上記(b)〜(c)の操作を繰り返して、感光材料上に回折格子セルをマトリクス状に配置する工程。
IPC (3件)：
G03H 1/30
, G02B 5/18
, G03H 1/20
G03H 1/30
, G02B 5/18
, G03H 1/20
