特許

J-GLOBAL ID：200903068961061724

窒化ガリウム粉体の製造方法、及び窒化ガリウム粉体の製造装置

発明者： 原 和彦
出願人/特許権者： 東京工業大学長
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-169784
公開番号（公開出願番号）：特開2003-063810
出願日： 2002年06月11日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 大量生産を可能とし、実用に供することのできる窒化ガリウム粉末の製造方法を提供するとともに、その製造装置を提供する。【解決手段】 窒化ガリウム結晶核生成部10で、ガリウム蒸気とアンモニアガスとを化学的に反応させて窒化ガリウム結晶核を生成した後、この窒化ガリウム結晶核を窒化ガリウム粒子成長部30に窒素キャリアガスなどによって輸送する。その後、窒化ガリウム粒子成長部30において、予備反応管21内で生成した塩化ガリウムと、窒化ガリウム結晶核生成部10から輸送されたアンモニアガスとを、前記窒化ガリウム結晶核上で化学的に反応させ、成長させることによって目的とする窒化ガリウム粉末を得る。

請求項（抜粋）：

窒化ガリウム結晶核を生成させる結晶核生成工程と、前記窒化ガリウム結晶核上でハロゲン化ガリウムとアンモニアガスとを反応させ、前記窒化ガリウム結晶核から窒化ガリウム結晶を成長させて窒化ガリウム粉体を作製する、前記結晶核生成工程と連続させた粒子成長工程と、を含むことを特徴とする、窒化ガリウム粉体の製造方法。