特許
J-GLOBAL ID：200903068980816477
イメージングマイクロストリップガスチャンバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112628
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300856
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 基板(サブストレート)として弾性を有する有機薄膜を用いて、この有機薄膜の下層に位置し、バックストリップに誘起される信号を使って2次元読み出しを可能にし、大面積で、形状が柔軟性を有するとともに、2次元座標の同時計測を可能にするイメージングマイクロストリップガスチャンバーを提供する。【解決手段】 マルチチップモジュール(MCM)技術に基づいて、5cm×5cm面積の2次元のマイクロストリップガスチャンバー(MSGC)を得た。つまり、ポリイミド薄膜からなる基板1と、陽極ストリップ2、バックストリップ5を持ち、大面積化が可能で、形状が柔軟性を有する。
請求項（抜粋）：
(a)弾性を有する有機薄膜からなる基板と、(b)該基板上に形成され、交互に平行に配置される陽極ストリップと陰極ストリップと、(c)前記陽極ストリップと陰極ストリップ間に印加される高電圧と、(d)前記基板の下面に形成され、前記陽極ストリップと陰極ストリップに交差するバックストリップと、(e)所定の間隔を隔てて配置されるドリフト板と、(f)前記基板の表面と前記ドリフト板間に流通するガスとを備え、(g)前記ガスの電子増幅を起こしてX線又は粒子線の信号を取り出し、2次元座標の同時計測を行うことを特徴とするイメージングマイクロストリップガスチャンバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01T 1/18 D
, G01T 1/00 B
