特許
J-GLOBAL ID:200903068987382480
電着砥石
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-211390
公開番号(公開出願番号):特開2001-038637
出願日: 1999年07月26日
公開日(公表日): 2001年02月13日
要約:
【要約】【課題】 研削圧力を低減して被削材を傷めることなく研削代を任意に設定できる。【解決手段】 電着ホイール20のリング状の砥粒層23について縦断面視で頂部に平坦部24を形成する。砥粒層23の外周側面25に台金22側から第一傾斜面27と第二傾斜面28を設けて平坦部24につなぎ、内周側面26に第三傾斜面29と第四傾斜面30を設けて平坦部24につなげる。第一傾斜面27の傾斜角θ1を鋭角とし、第二傾斜面28の傾斜角θ2をθ1より小さくする。第三傾斜面29の傾斜角θ3を鋭角とし、第四傾斜面30の傾斜角θ4をθ3より小さくする。θ1>θ4としてもよい。
請求項(抜粋):
金属めっき相中に超砥粒が分散配置された砥粒層が台金に装着されてなる電着砥石において、縦断面視で前記砥粒層の頂部に平坦部が形成されていると共に側面に鋭角の傾斜角をなす第一傾斜面が設けられていることを特徴とする電着砥石。
IPC (5件):
B24D 3/06
, B24B 37/00
, B24D 3/00 320
, B24D 7/18
, H01L 21/304 622
FI (5件):
B24D 3/06 B
, B24B 37/00 A
, B24D 3/00 320 B
, B24D 7/18 Z
, H01L 21/304 622 M
Fターム (13件):
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA19
, 3C058CA01
, 3C058CB02
, 3C063AA02
, 3C063AB05
, 3C063BA02
, 3C063BA21
, 3C063BB02
, 3C063BC02
, 3C063CC13
, 3C063EE10
引用特許:
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