特許
J-GLOBAL ID:200903069009170214
導波路型縮小イメージセンサ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
川口 義雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-178825
公開番号(公開出願番号):特開平9-036337
出願日: 1995年07月14日
公開日(公表日): 1997年02月07日
要約:
【要約】【課題】 高分子光導波路の屈曲部分での光信号の損失を低減する構造を有する導波路型縮小イメージセンサ、及びその構造を持った高分子光導波路の簡便な製造方法を提供する。【課題解決手段】 光導波路101のそれぞれの屈曲部の外側には、導波路コア部よりも屈折率が低く、更に導波路クラッド部よりも屈折率の低い気体で充填された屈曲部における光信号の損失低減用の溝102が隣接して形成されている。該光導波路は、キャピラリとなる両端が開放された溝と、それに隣接した両端を封止した溝を形成したパターン基板のパターン面を平面基板に密着させて、キャピラリの片端を封止した後、毛細管現象により、光導波路のコアの原料であるモノマ溶液を、片端が開口部となったキャピラリのみに充填させてから、前記モノマ溶液を高分子化させて製造する。
請求項(抜粋):
原稿面からの反射光を高分子光導波路を用いて縮小する導波路型縮小イメージセンサであって、前記導波路に設けられた屈曲部の外側に隣接して前記導波路のコア部及びクラッド部よりも屈折率の低い物質で充填されている溝を備えたことを特徴とする導波路型縮小イメージセンサ。
IPC (4件):
H01L 27/14
, G02B 6/122
, G06T 1/00
, H04N 1/028
FI (4件):
H01L 27/14 D
, H04N 1/028 Z
, G02B 6/12 A
, G06F 15/64 320 G
引用特許:
審査官引用 (1件)
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原稿読み取り装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-169064
出願人:松下電器産業株式会社
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