特許
J-GLOBAL ID:200903069015029582

結像光学系

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-354843
公開番号(公開出願番号):特開2000-233529
出願日: 1999年12月14日
公開日(公表日): 2000年08月29日
要約:
【要約】【課題】 光源の位置ずれによる光量分布のむらを補正して高精度で結像できる結像レンズ系を得る。【解決手段】 結像レンズ系のケーシング68内には、基板82から露光ヘッド26に向かって、回折格子110及び結像レンズ112が設けられる。回折格子110により、感光材料上での結像スポットのそれぞれは、結像レンズ112によって決定される結像倍率よりも大きな倍率で結像される。光のビームが副走査方向にずれた場合でも、光量分布のむらが少なくなり、高精度で結像される。
請求項(抜粋):
画像情報に応じて発光する複数の光源と、前記複数の光源からの光の間隔がこれら光源の間隔に対して所定の結像倍率となるようにこれら光源からの光を結像させる結像手段と、前記複数の光源のそれぞれの結像スポットを前記結像手段による結像倍率よりも大きなスポット倍率で結像させるスポットサイズ拡大手段と、を有することを特徴とする結像光学系。
IPC (5件):
B41J 2/44 ,  B41J 2/45 ,  B41J 2/455 ,  G02B 13/00 ,  G02B 26/10
FI (3件):
B41J 3/21 L ,  G02B 13/00 ,  G02B 26/10 G
引用特許:
審査官引用 (18件)
  • 特開平2-162063
  • 特開平3-039923
  • 特開平3-039944
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