特許

J-GLOBAL ID：200903069065865969

振動子、振動型ジャイロスコ-プ、直線加速度計および回転角速度の測定方法

発明者： 菊池 尊行 ,  郷治 庄作 ,  大杉 幸久 ,  相馬 隆雄
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032571
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325917
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】感度が高く、S/N比が良好な、新しい原理に基づく振動型ジャイロスコープおよび振動子を提供する。【解決手段】振動子1Aは、環状振動系2と、環状振動系2とは独立して振動する他の振動系3A、5A、5Bと、環状振動系2と他の振動系とを連結する連結部4A、4Bとを備えている。振動子1Aに対して駆動振動を励振する励振手段を、環状振動系と他の振動系との一方に設け、振動子の回転によって振動子に発生した検出振動を検出する検出手段を、環状振動系と他の振動系との他方に設ける。

請求項（抜粋）：

環状振動系と、この環状振動系とは独立して振動する他の振動系と、前記環状振動系と前記他の振動系とを連結する連結部とを備えていることを特徴とする、振動子。

IPC (5件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/09

FI (5件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09 ,  H01L 29/84 A ,  H01L 41/08 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-119605   出願人：株式会社村田製作所
• 慣性センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-049519   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (2件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-119605   出願人：株式会社村田製作所
• 慣性センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-049519   出願人：株式会社東芝