観察装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150429
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354556
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】連続的な試料観察の単位時間当たりの処理能力を高める。【解決手段】試料表面(10A-i)の観察ポイントの拡大像を生成するための対物レンズと、対物レンズの光軸の垂直方向に試料と対物レンズとを相対移動させる水平移動機構と、対物レンズの光軸方向に試料と対物レンズとを相対移動させる垂直移動機構とを備えた観察装置において、少なくとも対物レンズと試料表面とが対向する範囲内での水平移動機構の駆動中に、予め測定された試料表面の起伏((a),(b))に応じた駆動パターン(c)で垂直移動機構を駆動することを特徴とする。このようにすれば、観察ポイントの移動時におけるウエハ10A-iのZ方向の移動量は、その起伏の範囲内に抑えることができる。その結果、連続的な観察の単位時間当たりの処理能力が高まる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

試料表面の観察ポイントの拡大像を生成するための対物レンズと、前記対物レンズの光軸に直交する方向に前記試料と前記対物レンズとを相対移動させる水平移動機構と、前記対物レンズの光軸方向に前記試料と前記対物レンズとを相対移動させる垂直移動機構と、少なくとも前記対物レンズと前記試料表面とが対向する範囲内での前記水平移動機構の駆動中に、予め測定された前記試料表面の起伏に応じた駆動パターンで前記垂直移動機構を駆動する制御手段とを備えたことを特徴とする観察装置。

IPC (6件)：

G02B7/28 , G01B11/02 , G01N21/956 , G02B7/04 , G02B7/16 , G02B21/00

FI (7件)：

G02B7/11 J , G01B11/02 Z , G01N21/956 A , G02B7/16 , G02B21/00 , G02B7/11 N , G02B7/04 C

Fターム (49件)：

2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA06 , 2F065AA20 , 2F065AA24 , 2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065GG21 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL05 , 2F065LL46 , 2F065NN20 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065PP24 , 2F065QQ00 , 2F065QQ17 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CD07 , 2G051DA03 , 2G051DA07 , 2G051ED15 , 2H044BB05 , 2H044BB07 , 2H044HC02 , 2H044HC04 , 2H051AA11 , 2H051BA52 , 2H051BA70 , 2H051CC03 , 2H051DA07 , 2H051DA19 , 2H051DD20 , 2H051FA47 , 2H052AD09 , 2H052AD20 , 2H052AF02 , 2H052AF21 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (4件)

合焦装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-266623 出願人：オリンパス光学工業株式会社
表面画像投影装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096466 出願人：株式会社東京精密
EBテスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-190411 出願人：株式会社アドバンテスト

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