特許

J-GLOBAL ID：200903069110031373

酸化物単結晶の製造方法

発明者： 神尾 剛 ,  伊藤 邦宏 ,  桑原 由則 ,  流王 俊彦
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147622
公開番号（公開出願番号）：特開平8-012487
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はチョクラルスキー法による酸化物単結晶製造方法で使用される保温材を特定して、安定した条件で良好な結晶を歩留りよく製造する酸化物単結晶製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による酸化物単結晶の製造方法は、チョクラルスキー法で酸化物単結晶を製造する方法において、その保温材としてカサ密度が 0.5〜0.9g/ccである多孔質状の材料を使用することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法で酸化物単結晶を製造する方法において、その保温材としてカサ密度が 0.5〜0.9g/cc である多孔質状の材料を使用することを特徴とする酸化物単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 15/14 ,  C30B 29/30

引用特許：

審査官引用 (12件)

• 特開昭54-128988
  
• 特開昭54-128989
  
• 特開平2-296787
  
• 特開平1-301581
  
• 酸化物単結晶の製造装置および酸化物単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-285167   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-349177
  
• アルミナ質繊維成形体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148038   出願人：三井鉱山株式会社
• 特開昭54-128988
  
• 特開昭54-128989
  
• 特開平2-296787
  
• 特開平1-301581
  
• 特開平4-349177