特許
J-GLOBAL ID:200903069116966196
直線的にアレイされたセンサエレメントを有する慣性センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-508588
公開番号(公開出願番号):特表2007-532917
出願日: 2005年04月14日
公開日(公表日): 2007年11月15日
要約:
慣性センサは直線的アレイに構成された少なくとも1対のセンサエレメントを含む。各センサエレメントはフレームおよびフレーム内に吊るされた可動質量を有する。センサエレメントの各対のフレームは、フレームが平行軸に沿って互いに逆位相で動くことを許されるが互いに同位相で動くことを実質的に妨げられるように結合され得る。本発明の一局面に従って、少なくとも1つの基板を有する慣性センサ、および、少なくとも1つの基板の上の実質的に平面内に直線的アレイに構成された少なくとも2対のセンサエレメントが提供される。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの基板と、
該少なくとも1つの基板の上方で実質的に平面内に直線的アレイに構成された少なくとも2対のセンサエレメントと、を備え、
各対のセンサエレメントは、第一のフレーム内に吊り下げられた第一の共振器を有する第一のセンサエレメントと、第二のフレーム内に吊り下げられた第二の共振器を有する第二のセンサエレメントと、を含み、
該フレームのすべては、該平面内の第一の軸に沿って実質的に整列され、各対の該フレームは、該第一の軸に垂直な平面内の平行な軸に沿って互いに逆位相で動くように構成される、
慣性センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
2F105BB03
, 2F105BB13
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
引用特許:
審査官引用 (2件)
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-351552
出願人:株式会社村田製作所
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特許第6230563号
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