特許
J-GLOBAL ID：200903069145391976
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-236869
公開番号（公開出願番号）：特開2007-051915
出願日： 2005年08月17日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：
【課題】製造が容易で機械的強度の向上、高感度化および応答速度の高速化を図れる赤外線センサを提供する。 【解決手段】シリコン基板からなる矩形板状のベース基板1と、ベース基板1の一表面側に形成されて赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部3と、温度検知部3に積層され赤外線を吸収する赤外線吸収層6と、ベース基板1の上記一表面側でベース基板1と温度検知部3との間に介在して温度検知部3からベース基板1への熱伝導を阻止する断熱部2と、ベース基板1の上記一表面側で温度検知部3に金属配線4a,4cを介して電気的に接続された一対のパッド5a,5cとを備えている。断熱部2は、多孔質材料により形成されている。ここで、断熱部2は、ベース基板1の一部を陽極酸化処理により多孔質化することで形成された多孔質シリコン層により構成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成されて赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と温度検知部との間に介在して温度検知部からベース基板への熱伝導を阻止する断熱部とを備え、断熱部が多孔質材料により形成されてなることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, H01L 37/00
, H01L 35/32
G01J1/02 C
, G01J1/02 Y
, H01L37/00
, H01L35/32 A
2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA12
, 2G065BA13
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065CA13
, 2G065CA27
, 2G065DA20
